1、生產(chǎn)設備之選擇、布置與保養(yǎng)：
（1）要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
（2）應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。
（3）生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。
（4）規(guī)劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
（5）真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
（6）設置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
（7）生產(chǎn)及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
（8）應加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。
（9）當設備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
（10）對于施工或維修之廠商，應告知進出無塵室之各項規(guī)定，且負責工程師應隨侍在側監(jiān)工。
（11）應有無塵室工具組，但不得帶出無塵室外使用。
（12）規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2、生產(chǎn)設備之防塵措施：
（1）磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
（2）易產(chǎn)生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。
（3）在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
（4）不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
（5）各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產(chǎn)設備前應有過濾設備。
（6）為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。
3、自動化與無塵化：
（1）設立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。
（2）建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵室管理規(guī)則等。