潔凈室內之污染路來源，經測試分析結果，作業(yè)人員占約80%。實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出潔凈室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
潔凈室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為潔凈室管理的重要環(huán)節(jié)。微污染控制，其基本原則有四：
1、外部塵埃侵入之防止
潔凈室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O置。
2、室內發(fā)塵之防止
隔間板、地板等潔凈室材料的適當選用、制程設備的發(fā)塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用潔凈室器等。
3、室內發(fā)塵之不積留
墻壁體應光滑*、潔凈室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設備四周應留有空間。
4、發(fā)生塵埃之排除
換氣次數(shù)應足夠，適當?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。人、物入室的管理問題、實際的作業(yè)條件和工程管理關聯(lián)之問題、室內之空調及清掃關系之問題。